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科學園傳感器實驗室 硏發微納米傳感器

Hasan Gadjali(左)與馮家敏(右)於傳感器實驗室內的潔淨室介紹晶圓壓合機的運作

傳感器 (sensors) 在各行各業的應用日漸廣泛,例如消費電子產品、醫療保健設備、智慧城市應用等,單是一部手機,便至少有三十多個傳感器收發訊號。

香港科技園電子群組高級經理馮家敏說,傳感器與科技的結合運用越來越普遍,包括AI、機械人和IoT技術等。如果AI是人腦,IoT是身體,傳感器便如同人類的感官,感應外界的微細訊號並把其傳送至大腦處理和分析,然後叫身體作出相應的動作。

科技園近年積極推動微(micro)/納米(nano)傳感器社群發展,馮家敏指過去三年,傳感器包括半導體和芯片設計數目,已有逾一半增長。傳感器開發周期之中,後工序試行生產如封装和集成處理,非常重要,須經無數試驗和設計修正,新技術和設計方案才能正式投產。初創需要高規格的無麈實驗室、實用工具和技術支援,以協助其硏發、測試和進行原型試產工作。

實驗室佔地3,000呎

有見及此,科學園設立傳感器實驗室(Sensor Lab),協助園區公司研發傳感器。實驗室佔地3,000平方呎,設有規格達百級和千級的潔淨室,配備多種設備如蝕刻機和晶圓壓合機,以進行基本處理程序;包括沉積、微影、蝕刻、封装和特性分析等。潔淨室等级以其每立方英呎空間內所含有的粒徑大於0.5微米的粒子數目而界定,百级的潔淨室含有少於100上述粒子,千级則少於1,000 粒子。

潔淨室內亦安裝了通風、温度和濕度控制糸統,室內主要採用黃燈照明,避免傳感器部分開發流程暴露在強光下。進入實驗室的人士須穿上工作服、帽、口罩、手套和鞋套,並經過吹風室消毒。

Meridian Innovation 展示其傳感器芯片

新加坡傳感器初創

從事熱成像方案 (Thermal imaging solutions) 開發的新加坡初創Meridian Innovation,為首間使用傳感器實驗室的科學園培育公司,聯合創辦人 Hasan Gadjali 表示,實驗室設備完善的潔淨室,吸引該公司落戶科學園的關鍵要素,可將時間與資源集中投放於科研上。該公司亦能夠接觸到科學園內的合適專才,尤其畢業自本地大學的高端創科人才。此外,香港提供完善的知識産權制度,保護專利技術。

Meridian Innovation 最新硏發而成的傳感器芯片,採用了晶圓級真空封裝技術(Wafer level vacuum packaging process)。Gadjali表示,上述封裝流程便是在傳感器實驗室進行。實驗室的晶圓壓合機提供了六吋直徑晶圓的熱壓接合、共熔和陽極結合,經切割後成為多粒芯片。他說芯片設計成本低、功耗低,提供4,960像素CMOS 長波紅外成像相機技術,可應用於IoT、安全監控、智能家電和自動駕駛等用途,預計第三季量產。

Gadjali 透露,正與本港有兩間公司洽商把其傳感器整合於嬰兒監察器以偵測嬰兒是否發燒,港鐵亦有意利用傳感器監察高壓電纜和隔離絕緣桿,如有過熱便可及早維修。

除了Meridian Innovation外,另外兩間科技園公司的夥伴企業香港應用科技研究院 (應科院)和Genvida ,亦正使用傳感器實驗室,研發光學和生物傳感器。

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